重大突破!芯片光刻胶关键技术被攻克:原材料全部国产 配方全自主设计
快科技10月25日消息,重大自主据华中科技大学官微消息,突破近日,芯片该校武汉光电国家研究中心团队,光刻攻克在国内率先攻克合成光刻胶所需的胶关键技原料和配方,助推我国芯片制造关键原材料突破瓶颈。术被设计
据介绍,原材其研发的料全T150A光刻胶系列产品,已通过半导体工艺量产验证,部国实现了原材料全部国产,产配配方全自主设计,重大自主有望开创国内半导体光刻制造新局面。突破
公开资料显示,芯片光刻胶是光刻攻克一种感光材料,用于芯片制造的胶关键技光刻环节,工作原理类似于照相机的胶卷曝光。芯片制造时,会在晶圆上涂上光刻胶,在掩膜版上绘制好电路图。
当光线透过掩膜版照射到光刻胶上会发生曝光,经过一系列处理后,晶圆上就会得到所需的电路图。
由于光刻胶是芯片制造的关键材料,国外企业对其原料和配方高度保密,目前我国所使用的光刻胶九成以上依赖进口。
武汉光电国家研究中心团队研发的这款半导体专用光刻胶对标国际头部企业主流KrF光刻胶系列。
相较于国外同系列某产品,T150A在光刻工艺中表现出的极限分辨率达到120nm,且工艺宽容度更大、稳定性更高、留膜率更优,其对刻蚀工艺表现更好,通过验证发现T150A中密集图形经过刻蚀,下层介质的侧壁垂直度表现优异。
团队负责人表示:“以光刻技术的分子基础研究和原材料的开发为起点,最终获得具有自主知识产权的配方技术,这只是个开始。我们团队还会发展一系列应用于不同场景下的KrF与ArF光刻胶,致力于突破国外卡脖子关键技术,为国内相关产业带来更多惊喜。”
(责任编辑:休闲)
-
京沪高铁运营时速全球最快 2017最新列车运行图9月21日起启动
全国铁路列车运行图九月调整后高铁商业运营速度全球最高“八纵八横”格局正在构建,将基本覆盖县域记者从中国铁路总公司获悉:全国铁路将于9月21日实施新的列车运行图,在部分线路增开客 ...[详细] -
午后,大飞机概念股活跃走强,截止发稿,抚顺特钢涨5.71%,航天晨光,航天科技,中航飞机,中航重机,航天长峰,航天通信,宝胜股份,博云新材,航天动力等股纷纷跟涨。据悉,近日中国商用 ...[详细]
-
中国经济网北京7月4日讯 周二沪深两市早盘小幅低开,白马股持续回调,石化双雄护盘,上证50、沪深300指数双双跳水,盘中跌逾1%,沪指亦震荡走低后低位盘整。盘面上多数飘绿,食品饮料领跌。题材 ...[详细]
-
流动性收紧情况下,银行信贷额度愈发紧俏,部分银行甚至出现“一贷难求”的紧张局面。中国证券报记者了解到,深圳多家银行表内贷款利率出现不同程度上浮,除备受热议的房贷外,部分银行的消 ...[详细]
-
新华社北京12月1日电题:断缴医保有风险 专家建议用医保撑起“健康保护伞”新华社记者徐鹏航近期,多地医保部门发布断缴医保导致生病后无法报销的案例。专家表示,医保是健康时的投资, ...[详细]
-
据日媒报道,因安全气囊召回问题深陷经营困境的日本高田公司已基本决定于本月26日向东京地方法院申请适用该国《民事再生法》,目前正在就制定重组计划与汽车厂商等展开最后磋商。高田还计划向 ...[详细]
-
创新与知识产权是企业竞争与发展的命脉,更是本轮国企改革的要点之一。《经济参考报》记者获悉,按照国企改革计划,到2020年,在国有企业改革重要领域和关键环节取得决定性成果,培育一大批具有创新能 ...[详细]
-
msci利好哪些股票 被纳入msci的股票好吗?加入msci有多重要?
msci利好哪些股票 被纳入msci的股票好吗?加入msci有多重要?今天6月21日)凌晨4点30分,美国明晟指数公司(MSCI)公布了本年度市场分类审核结果,A股在经过3次被拒后,终于被纳入MSCI ...[详细] -
近日,以“科技赋能家电产业转型升级”为主题的2024中国家电科技年会在湖北武汉召开,海信空调受邀参加“家电噪声技术专题研讨会”,并作主题汇报。同时,“第三届全国轻工适老创新产品及智能健康解决方案大赛” ...[详细]
-
6月22日19时06分左右,万达电影002739.SZ)发布澄清并复牌公告。公告称,2017年6月22日,万达电影股份有限公司以下简称“公司”)关注到网络媒体出现“ ...[详细]